Характеристики лудящих паст.

 

Оборудование.

 

Подложки с нанесенными пастами устанавливаются на входе печи на ленту, которая и продвигает их через всю печь. В начале в зоне предварительного нагрева происходят улетучивание и выго­рание органической связки. Этот процесс проводится в течение 15...20 мин, так как при более быстром выгорании начинаются раз­рушение пленки, образование пузырей, отслаивание композиции от подложки и т. п. При медленном выгорании в композиции может удерживаться углерод до поступления подложки с пастой в горя­чую зону, где плавится стекло и возникают побочные реакции. На­личие углерода в пленке приводит к протеканию нежелательных реакций: появляются пузыри в стекле или восстанавливаются ок­сиды. Для отвода продуктов сгорания конвейерные печи оборудо­ваны вытяжкой.

В зоне максимальной температуры печи подложка с пастой в течение 5...15 мин подвергается наибольшему воздействию темпе­ратуры. Протяженность ее обычно равна зоне предварительного нагрева. В зоне охлаждения толстопленочные элементы на под­ложке охлаждаются перед выгрузкой в течение 20...25 мин. Макси­мальная температура печи составляет 1100°С (температура, не­обходимая для вжигания конденсаторных структур).

Полимерные конденсаторы основываются на серебряно-наполненном фениле (температура закалки 150 - 220°C) или акрилате для более низких температур (80 - 120°C). Диэлектрики и защитные покрытия основываются на силиконе или эпоксиде, температура закалки в диапазоне 125 - 200°C.

 

Отечественной промышленностью выпускаются промышленные конвейерные печи для вжигания на воздухе типов СК-10/16 СК-11/16 и в инертной атмосфере типа ПГЗН-10-002. В зависимости от типа печи имеют 5-8 зон и ширину рабочего пространства 100...260 мм. Кроме того, для вжигания в лабораторных условиях используют диффузионные печи типа СДО-125 с конвейером-тол­кателем.

Рис. Печь вжигания «Радуга-15М».

 

Максимальная температура обработки 1000°С
Количество управляемых зон нагрева - 6
Ширина конвейера 300 мм.
Средняя потребляемая мощность 7,5 кВт
Максимальная мощность 18 кВт
Точность поддержания температуры ±1°С
Габариты 3500 х 980 х 900.

 

 

Рис. Автомат нанесения пасты.

Fine lines < 25 micron with 1 micron

Precision

High density, 4 micron thick conductor

High conductivity - 95% of bulk

96% Al

Mm lines

 

 

Корпусирование.

 

 

Рис. Корпуса толстопленочных микросборок.

 

Многослойные керамические ОИС (LTCC).

 

Для многослойных ОИС используются листы сырой керамики. (Толщина листов от 20 µm до 2 mm, размеры - 160 mm до 1000 mm.) С ними работают как с обычной керамикой: наносят пасту, формируют отверстия. Затем окончательно отжигают при 800 °С и монтируют навесные элементы. Температурные условия изготовления предопределяют использование толстопленочной технологии для формирования проводниковых, резистивных и диэлектрических слоев.

 

 

 

Рис. Листы сырой керамики KERAFOL^® и линия по ее изготовлению.

 

 

 

Рис. Технология изготовления керамических ОИС.